सिरेमिक भागों के उत्कृष्ट गुणों जैसे उच्च तापमान प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध के कारण, उनका उपयोग अक्सर विभिन्न अर्धचालक कुंजी उपकरणों में किया जाता है। सेमीकंडक्टर सिरेमिक भागों में सेमीकंडक्टर सिरेमिक आर्म्स, सिरेमिक सब्सट्रेट्स, सिरेमिक नोजल, सिरेमिक विंडोज, सिरेमिक कैविटी कवर, छिद्रपूर्ण सिरेमिक वैक्यूम कप आदि शामिल हैं।
1. सेमीकंडक्टर सिरेमिक बांह
सेमीकंडक्टर उपकरण की कार्य प्रक्रिया में, वेफर्स को संभालते समय सिरेमिक हथियारों की आवश्यकता होती है, क्योंकि सिलिकॉन वेफर्स को दूषित नहीं किया जा सकता है, इसलिए इसे आम तौर पर एक सच्चे वायु स्वच्छ वातावरण में किया जाता है। निर्वात वातावरण में, अन्य सामग्रियों द्वारा तैयार किए गए अधिकांश यांत्रिक हथियार आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकते हैं, इसलिए उच्च तापमान प्रतिरोध, पहनने के प्रतिरोध और उच्च कठोरता वाले सिरेमिक हथियारों का उपयोग करना आवश्यक है। आमतौर पर लोग सिरेमिक आर्म तैयार करने के लिए उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना, सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग करते हैं, इन दो कच्चे माल में उच्च कठोरता, पहनने के प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रतिरोध और अन्य भौतिक गुण होते हैं, सिरेमिक आर्म की तैयारी उत्कृष्ट सामग्री है। इन दो सामग्रियों की तुलना में, सिलिकॉन कार्बाइड से बने सिरेमिक आर्म का प्रदर्शन एल्यूमिना सिरेमिक आर्म की तुलना में बेहतर है। हालाँकि, सामग्री की कीमत और प्रसंस्करण कठिनाई के पहलुओं की तुलना में, एल्यूमिना से बना सिरेमिक आर्म अधिक लागत प्रभावी है, और एल्यूमिना सिरेमिक आर्म का आमतौर पर अधिक उपयोग किया जाता है।
2. सिरेमिक सब्सट्रेट
सिरेमिक सब्सट्रेट का उपयोग मुख्य रूप से विभिन्न इलेक्ट्रॉनिक पैकेजिंग क्षेत्रों में किया जाता है, जैसे पावर इलेक्ट्रॉनिक डिवाइस पैकेजिंग, लेजर पैकेजिंग, प्रकाश उत्सर्जक डायोड पैकेजिंग, थर्मोइलेक्ट्रिक रेफ्रिजरेशन पैकेज, उच्च तापमान इलेक्ट्रॉनिक डिवाइस पैकेजिंग, अन्य पावर डिवाइस पैकेजिंग। क्योंकि सामान्य सामग्री उच्च तापमान का सामना नहीं कर सकती है, सामान्य परिस्थितियों में, इलेक्ट्रॉनिक पैकेजिंग प्रक्रिया थर्मल चालकता और गर्मी प्रतिरोध, उच्च शक्ति, सिरेमिक उत्पादों की उच्च विश्वसनीयता का उपयोग करती है। सिरेमिक सब्सट्रेट तैयार करने के लिए लोग अक्सर एल्यूमिना, सिलिकॉन नाइट्राइड और अन्य सामग्रियों का उपयोग करते हैं।
3 सिरेमिक नोजल
एचडीपी-सीवीडी में, प्रतिक्रिया गैस कक्ष के अंदर और बाहर को जोड़ने वाले सिरेमिक नोजल के माध्यम से प्रतिक्रिया कक्ष में प्रवेश करती है, इसलिए नोजल की गुणवत्ता सीधे प्रतिक्रिया गैस की शुद्धता और प्रवाह दर निर्धारित करती है। एल्यूमीनियम ऑक्साइड और एल्यूमीनियम नाइट्राइड का उपयोग आमतौर पर सिरेमिक नोजल तैयार करने के लिए किया जाता है। क्योंकि एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक में एल्यूमीनियम ऑक्साइड की तुलना में बेहतर थर्मल चालकता और थर्मल शॉक प्रतिरोध होता है, नोजल प्लाज्मा संक्षारण के कारण अशुद्धता प्रदूषण का कारण नहीं बनेंगे, न ही वे असेंबली भागों के पहनने के कारण थर्मल विरूपण के कारण अशुद्धता प्रदूषण का कारण बनेंगे। यह सुनिश्चित करता है कि नोजल प्रतिक्रिया गैस और प्रतिक्रिया कक्ष में अशुद्धता संदूषण का कोई खतरा पैदा नहीं करते हैं, और उन्नत प्रक्रिया एचडीपी-सीवीडी उपकरण में अनुप्रयोग आवश्यकताओं को बेहतर ढंग से पूरा कर सकते हैं।
4. सिरेमिक खिड़कियाँ
सिरेमिक विंडो सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी मशीनों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला एक प्रमुख घटक है। नक़्क़ाशी मशीन में चैम्बर कवर के रूप में, इसका उपयोग प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीनों में किया जाता है। यह नक़्क़ाशी मशीन के कक्ष और प्लाज्मा युग्मन कुंडल के बीच स्थित है। इसे कठोर प्लाज्मा नक़्क़ाशी वातावरण के क्षरण का विरोध करते हुए आरएफ (रेडियो फ़्रीक्वेंसी) और माइक्रोवेव ऊर्जा को प्लाज़्मा नक़्क़ाशी कक्ष में संचारित करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। प्रभावी सिरेमिक विंडोज़ में आरएफ और माइक्रोवेव आवृत्तियों पर कम हानि कोण स्पर्शरेखा मान (उच्च संप्रेषण) होते हैं। यदि नहीं, तो ऊर्जा को अवशोषित किया जा सकता है और बहुत अधिक गर्मी में परिवर्तित किया जा सकता है, जिससे प्रक्रिया (आरएफ ऊर्जा की हानि) और घटक (बहुत अधिक गर्मी और थर्मल ग्रेडिएंट) दोनों खराब हो सकते हैं। इस उत्पाद की तैयारी में, उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना और येट्रियम ऑक्साइड की दो उन्नत सिरेमिक सामग्रियों का आमतौर पर उपयोग किया जाता है, और जो उत्पाद अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करते हैं, उन्हें सख्त मोल्डिंग, सिंटरिंग और फिनिशिंग प्रसंस्करण और सतह छिड़काव प्रक्रियाओं के माध्यम से पूरा किया जा सकता है।
5. सिरेमिक कैविटी कवर
सिरेमिक कैविटी कवर एक एकीकृत स्वतंत्र कार्यात्मक घटक है जिसमें सिरेमिक गुंबद, शीतलन प्रणाली और इलेक्ट्रोड नियंत्रण प्रणाली शामिल है। यह 40 एनएम और उससे कम के पतले फिल्म जमाव उपकरण में प्रमुख घटकों में से एक है, और इसका प्रदर्शन वेफर गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है। सिरेमिक कैविटी कवर वेफर के ऊपरी भाग पर ढका हुआ है, और सीवीडी डिवाइस कैविटी को एक बंद कक्ष वातावरण बनाने के लिए सील कर दिया गया है। घंटी कवर के चारों ओर कॉइल वाले एंटीना सदस्य आईसीपी (प्लाज्मा) उत्पन्न करने के लिए एक प्रेरित विद्युत क्षेत्र बनाने के लिए उच्च आवृत्ति शक्ति लागू कर सकते हैं, और समान आयन उपचार करने और सुचारू प्रगति की रक्षा के लिए इसे सिरेमिक गुहा कवर के माध्यम से कक्ष में पेश कर सकते हैं। निक्षेपण फिल्म का. सिरेमिक चैम्बर कवर सीलिंग, आंतरिक और बाहरी दबाव अंतर और प्रतिक्रिया कक्ष की सफाई में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और सीवीडी उपकरण के सबसे महत्वपूर्ण मुख्य घटकों में से एक है।
6. सिरेमिक वैक्यूम सकर
आमतौर पर सेमीकंडक्टर उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले अधिकांश सिरेमिक घटक घने सिरेमिक होते हैं, लेकिन वैक्यूम सकर एक छिद्रपूर्ण सिरेमिक होता है। सेमीकंडक्टर सामग्री सिलिकॉन वेफर एक पतली, कठोर और भंगुर सामग्री है, जिसके दोनों किनारों को पीसने और पॉलिश करने आदि की आवश्यकता होती है। लोग आमतौर पर इस तरह के वर्कपीस का पता लगाने और क्लैंप करने के लिए वैक्यूम सक्शन कप का उपयोग करते हैं। पारंपरिक सामग्रियों द्वारा तैयार किए गए वैक्यूम सकर का प्रदर्शन अक्सर उपयोग की आवश्यकताओं को पूरा करने में विफल रहता है। इंजीनियरिंग और प्रौद्योगिकी में सुधार के बाद, लोग आमतौर पर वैक्यूम सकर बनाने के लिए सिरेमिक सामग्री का उपयोग करते हैं। आमतौर पर इस्तेमाल किया जाने वाला वैक्यूम सकर एक छिद्रपूर्ण संरचना है, जो एक साथ बंधे दो सिरेमिक सामग्रियों से बना होता है। झरझरा सिरेमिक प्लेट को आधार के काउंटरसंक छेद में स्थापित किया जाता है, जिसे आधार के साथ बांधा और सील किया जाता है, जो एक घने सिरेमिक सामग्री से बना होता है जो सांस लेने योग्य नहीं होता है। हालाँकि दोनों भागों की सामग्रियाँ अलग-अलग हैं, लेकिन उनका पहनने का प्रतिरोध और यांत्रिक गुण समान हैं। यह वैक्यूम सकर को उपयोग की आवश्यकताओं को पूरा करता है।
सेमीकंडक्टर के लिए कई सिरेमिक उत्पाद हैं, हम आपकी आवश्यकताओं के अनुसार उत्पाद प्रदान कर सकते हैं, आपके परामर्श का स्वागत है।
